市場(chǎng)上比較常見(jiàn)的無(wú)塵車間潔凈度級(jí)別有百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)。百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)定義是單位立方英尺空氣中含有的直徑不小于0.5μm的塵埃粒子個(gè)數(shù)分別不大于100個(gè)、1000個(gè)、10000個(gè)。百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的最主要的區(qū)別,就在于空氣中各粒徑檔最大容許粒子濃度不一樣。
百級(jí)無(wú)塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。千級(jí)無(wú)塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。也就是說(shuō)百千萬(wàn)是只灰塵數(shù)量,自然的級(jí)別數(shù)值越小,等級(jí)越高。百級(jí)無(wú)塵車間已經(jīng)是凈化級(jí)別里邊凈化指數(shù)很高,各項(xiàng)技術(shù)很高的凈化空間。
百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修最主要的作用就是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫度、濕度,使產(chǎn)品能夠在一個(gè)很好的環(huán)境內(nèi)生產(chǎn)和制造。而按照國(guó)際上的慣例,無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修的潔凈級(jí)別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是把微??刂圃谝粋€(gè)非常小的單位上,在常規(guī)當(dāng)中就是說(shuō)符合微粒的顆粒在我們常見(jiàn)的灰塵當(dāng)中是小的微乎其微,而對(duì)于那些生產(chǎn)上來(lái)說(shuō),哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的,很少很少的灰塵也會(huì)產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的。國(guó)際上百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。
百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)參數(shù):
溫度:22℃±2;濕度:55%±5;基本需要滿布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系統(tǒng)。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
百級(jí)無(wú)塵車間若非得用換氣次數(shù)來(lái)衡量的話200次/h以上,百級(jí)無(wú)塵車間若是以層流風(fēng)速來(lái)說(shuō)的話0.35m/s,
百級(jí)無(wú)塵車間若以HEPA高效空氣過(guò)濾器對(duì)吊頂覆蓋率的話50%。
當(dāng)前,在芯片生產(chǎn)加工上的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于A級(jí)的,像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上,而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級(jí)別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。
百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車間人員必須穿著無(wú)塵服與無(wú)塵鞋,并嚴(yán)格按以下順序進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車間:
1、戴上無(wú)塵帽(頭發(fā)不可露出)。
2、戴上無(wú)塵口罩。
3、穿著無(wú)塵衣(拉上拉鏈后,扣好頸部頭罩)。
4、穿上無(wú)塵鞋。
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進(jìn)入風(fēng)淋室。
8、進(jìn)入ZC風(fēng)淋室雙門互鎖后自動(dòng)吹淋,聽(tīng)從風(fēng)淋室語(yǔ)音提示,擺動(dòng)身體,吹凈時(shí)間15秒。
9、在過(guò)濾器無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修后,動(dòng)作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。
10、工廠稽查小組對(duì)過(guò)濾器無(wú)塵車間潔凈紀(jì)律,每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。
無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修工作原理:
采用垂直單向流的氣流形式,送風(fēng)先要通過(guò)初效過(guò)濾器進(jìn)行預(yù)過(guò)濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經(jīng)過(guò)預(yù)處理后的空氣,再經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器進(jìn)行二次過(guò)濾,以起到充分保護(hù)高效過(guò)濾器的作用。在離心風(fēng)機(jī)提供的壓力下,通過(guò)高效過(guò)濾器,使之達(dá)到潔凈要求。所有氣流均經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器處理,所以送風(fēng),排風(fēng)均不帶殘余粉塵,避免了二次污染。由于在工作區(qū)域形成穩(wěn)定的單向流,起到保護(hù)外部環(huán)境的作用。
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